Erstelle ein Design- und Integrationskonzept für ein Equipment Performance Monitoring Modul als Komponente eines Equipment Engineering Systems (EES Framework) für den Einsatz in hochautomatisierten Fabriken der Halbleiter-, Photovoltaikindustrie und LED-Fertigung.
In den letzten Jahren ist ein nachhaltiger Anstieg in der Anwendung von Advanced Process Control (APC) Methoden in der Halbleiterbranche, LED und Photovoltaik zu verzeichnen. Dieser Aufschwung kann auf den starken Wettbewerb, die Notwendigkeit zur Kostenreduktion, die Entwicklung immer kleinerer Chip-Technologien und effizienterer Zellen und daraus folgend der Druck auf Prozessstabilität und Gewinn – zurückgeführt werden. Equipment Performance Monitoring verbunden mit Fault Detection and Classification (FDC) sind APC Disziplinen, die sich nicht nur auf die Erkennung von Maschinenfehlern beschränkt, sondern das Ziel verfolgt die Quelle des Fehlers zu identifizieren, um somit die Produktivität der Maschinen zu steigern.
Mit dieser Arbeit soll ein Konzept für die Integration des EPT Moduls TFM (Total Fab Monitoring) der Kontron AIS in das EES Data Framework der Kontron AIS entwickelt werden.
Bei der Bearbeitung erhält man einen Einblick in aktuelle Chipfertigung und Zellproduktion deren Prozessabläufe und Automatisierung und kann sich mit den neuesten Technologien, Standards und Trends vertraut machen.
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